匀胶机/旋涂机/真空旋转涂层机型号:TD-616
产品型号:TD-616
产品简介:主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。
主要特点:
*高精度多程序控制器:
可设定存储7个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的速度状态;
液晶显示屏可以实时显示:
1. 第N个涂敷工艺过程
2. 所处工作段
3. 真空吸片状态。
4. 设置时间;及实时运行时间。
5. 设置速度;及实时速度状态。
中英文两套操作系统供选择。
人机交互式对话,简洁,明了。
*真空吸片系统更安全:
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。
*变频调速电机,转速精度更高:
300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
zui高转速10000转/分
*不锈钢机壳 NPP材质工作腔
不锈钢机壳,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
NPP材质工作腔。
可以轻松拆下清洗。可用丙酮擦拭。
NPP的化学稳定性优异,对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。
技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:150W
旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置)
可选择配置: 基片直径10—150mm可接受订货。
转数:300 - 10000 转/分。
可设定时间:1---9999秒。
标准包装:
结构尺寸: 260mm宽 x 350mm深 x 260 mm高 ,
可选配件 1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3、70升/分无油真空泵