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四探针电阻率分析仪
产品编号:TC-000289
QT-RTS-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
四探针电阻率分析仪 仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
QT-RTS-4型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析
技术参数:
测量范围 电阻率:0.001~200Ω.cm(可扩展);
方块电阻:0.01~2000Ω/□(可扩展);
电导率:0.005~1000 s/cm;
电阻:0.001~200Ω.cm;
可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台);
400mmX500mm(配S-2C型测试台);
恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调
数字电压表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;性、量程自动显示;
四探针探头基本指标 间距:1±0.01mm;
针间缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量zui大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度 ≤5%
计算机通讯接口 并口
标准使用环境 温度:23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射;
产品名称:矢量网络分析仪 产品型号: TD3618C |
矢量网络分析仪 型号: TD3618C
TD3618C/TD3616C矢量网络分析仪由新技术的高精度合成信号源、窄带接收机、高速嵌入式计算机和Windows操作系统组成.它具有测量精度高、测量速度快和测量适应能力强等特点,Windows操作界面更具人性化,可适用于射频元件及设备的大批量生产和制造领域的测量应用,具有高的性价比。
TD3618C/TD3616C矢量网络分析仪具有强大的测量功能,主要应用于无线通信、广播电视、教育、科研等领域, 可对放大器、同轴电缆、功分器、合路器、天线、耦合器、滤波器、隔离器、分支分配器、晶体、声表等RF器件S参数的幅频特性、反射特性、相位特牲、延迟特性等进行*测量. 例如能对RF器件的插入损耗、衰减、隔离、增益、频响、带内平坦度、相位、群延时、回波损耗、SWR、特性阻抗、3dB带宽、带外抑制、阻带带宽、矩形系数等指标进行快速准确测量。
★ 系统阻抗:50Ω或75Ω,75Ω阻抗适合CATV用户使用。
★ 仪器使用界面:中文或英文,满足不同用户需求。
★ 双端口测试。可同时测试两端口器件的4个S参数(S11、S21、S12、S22 ),大提高测试效率。
★ Windows操作界面,10.4英寸的TFT彩色液晶显示屏,触摸屏,显示清晰,操作简单快捷。
★ 4个独立的测量通道,每个通道可独立设置源参数(如频率、功率等),满足用户对同一器件的不同条件下的测试。
★ 具有存贮/调用功能,方便用户将测量结果保存在硬盘或U盘上。
★ 可以用宏指令进行VBA编程,进行自动控制测试。
★ GPIB接口,方便用户组成自动测试系统。
★ LAN接口,方便用户连接局域网,无线网卡,从而方便用户进行远程数据传输。
LAN接口还和GPIB接口一样,方便用户组成自动测试系统。
★ 数据格式:对数、相位、群延迟、史密斯圆图、坐标、线性、SWR、实部、虚部、扩展相位、正相位等。
★ 多种扫描模式:线性扫描、对数扫描、分段扫描、功率扫描。
★ 触发方式:连续、单次、保持。
★ 强大的分析功能
◆限测试:具有限测试、波动限测试、带宽限测试等测试功能,方便用户进行产品合格、不合格判断,从而大大提高测试效率。
◆频标:多可同时显示9个频标。不同曲线上的频标可独立操作。
◆频标搜索功能:大值、小值、峰值、频标自动跟踪、带宽搜索、凹峰搜索等。
★ *的校准方式
增强型响应校准:可以消除方向性、串扰、源匹配、反射跟踪、传输跟踪误差,提高测量精度。
端口扩展:在某些场合下,用户不能在测试端面进行校准,端口扩展就可以满足用户补偿测试端面与被测件之间的相移或延迟,提高测试精度。
★ 众多外部接口
具有USB、LAN、RS232、键盘PS/2接口、鼠标PS/2接口、外部VGA显示接口、GPIB接口(选件)。
频率范围:300kHz ~ 3GHz(TD3618C); 300kHz ~ 1.5GHz(TD3616C)
频率准确度:±5ppm (23℃±5℃)
频率分辨率:1Hz
输出电平:-45 ~ +10dBm
电平准确度:±0.8 (0dBm,50MHz)
电平分辨率:0.05dB
相位噪声:-67dBc/Hz@10kHz
谐波及非谐波:<-30dBc(0dBm)
中频带宽10Hz~30kHz
方向性:44dB
动态范围:110dB
测量分辨率:0.01dB
大输入电平:+10dBm
输入损坏电平:+20dBm
相位分辨率:0.01°
相位稳定度:0.1°
对数刻度:0.01dB/DIV~50dB/DIV
分辨率:0.01dB
扫描时间:25ms(201点,中频带宽30KHz)
显示器:10.4英寸彩色TFT液晶显示屏
测量方式:双端口测量
测量通道:4通道
测量格式:对数、线性、相位、群延时、驻波比、史密斯圆图、圆图、实部、虚部、阻抗
扫描方式:线性、点频、对数、功率
触发方式:连续、单次、保持
输入输出接头N型阴头
通讯接口USB,LAN, RS232,GPIB,键盘接口,VGA显示接口
电源AC 150V~230V/50~60Hz; 350VA
重量约15Kg
仪器尺寸426×395×225mm(宽X深X高)
工作环境温度5~40℃
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