GR-RTS-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的仪器。
四探针测试仪 四探针电阻率测试仪 四探针检测仪 单测四探针检测仪（接电脑）

四探针测试仪 四探针电阻率测试仪 四探针检测仪 单测四探针检测仪（接电脑）

四探针测试仪 四探针电阻率测试仪 四探针检测仪 单测四探针检测仪（接电脑）

产品编号：TC-000288

GR-RTS-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的仪器。
    仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
    仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
GR-RTS-4型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
    测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析
技术参数：
 测量范围 电阻率：0.001～200Ω.cm（可扩展）；  
 方块电阻：0.01～2000Ω/□（可扩展）； 
 电导率：0.005～1000 s/cm； 
 电阻：0.001～200Ω.cm； 

可测晶片直径 140mmX150mm（配S-2A型测试台）；
 200mmX200mm（配S-2B型测试台）；
 400mmX500mm（配S-2C型测试台）；
恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 输入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示；
四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；
 针间缘电阻：≥1000MΩ； 
 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿（总力）；
四探针探头应用参数 （见探头附带的合格证）
模拟电阻测量相对误差
（ 按JJG508-87进行） 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量zui大相对误差（用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试）≤±5%
整机测量标准不确定度 ≤5%
计算机通讯接口 并口
标准使用环境 温度：23±2℃；
 相对湿度：≤65%；
 无高频干扰；
 无强光直射

数字式四探针测试仪型号：SZT-1

SZT-1型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理 的多用途综合测量装置。它可以测量片状、快状半导体材料径向和轴向电阻率，测量片状半导体材料的电阻率和扩散层的薄层电阻（方块电阻），换上特制的四探针测试夹，还可以对金属导体的低中值电阻进行测量。此外，探针经过特殊加工后，还可以测量薄膜材料电阻率。广泛适用于半导体材料、器件厂、高等院校化学物理系、科研单位，对半导体材料的电阻性能测试。 
本仪器测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 
SZT-1型数字式四探针测试仪技术参数： 
1． 测量范围： 
电阻率：10的-4次方~10的3 次方Ω-cm 
方块电阻：10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□ 
电阻：10的-6次方 ~10的5 次方Ω 
导电类型鉴别：电阻率范围 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm 
2． 可测半导体材料尺寸 
直径：φ15~100 mm 
长度：≤400mm 
3． 测量方法： 
轴向、断面均可 
4． 显示方式：31/2,数显,性、过载自动显示，小数点、单位自动显示。 
5． 恒流源： 
（1） 电流输出：直流电流0~100 mA连续可调。 
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA 
（3） 误差：±0.5%读数±2个字 
6.四探针测试探头 
(1) 探针间距:1mm 
(2) 材料:碳化钨.探针机械游移率:±1.0% 
7.电源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W 

半导体材料检测仪型号：TH2661

性能特点 
■ 大屏幕液晶显示  
■ 采用SMT表面贴装工艺  
■ 可手动或自动选择合适的电流源量程  
■ 电流源方向有正方向、反方向和正反方向三种选择  
■ 预设样片厚度，自动修正，直读电阻率  
■ 报警门限预设，可用于HI PASS LOW 分选  
■ 200个读数存储，可对存储读数求zui大值、zui小值和标准偏差值 等数学统计  
■ USB通讯功能，可通过上位机软件对手持表进行操作  
■ 1%电阻基本精度  
■ 读数稳定性好  
■ 自动关机功能  
■ 电池及外接电源供电方式  

简要介绍  
■ TH2661型手持式四探针测试仪，可测量片状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率及扩散层的薄层电阻，适用于半导体和太阳能材料测试的要求，也可对分立电阻进行测量，USB接口可为用户提供远程控制及测试数据的统计和分析。  
由于采用了电池和外接电源两种供电方式，既能适应固定场合对元器件进行检测，又可随身携带以满足测试人员的现场测试要求。  

 TH2661型手持式四探针测试仪技术参数  
测 量 功 能  
测试参数 电压, 电阻率, 方阻, 电阻  
测量不确定度 ≤5%  
恒流源 100nA, 1uA, 10uA, 100uA, 1mA, 3.3mA  
电流方向 正向 反向 正反向  
数学功能 对值偏差, 百分比偏差  
量程方式 自动, 保持  
触发方式 连续、数据锁定  
测试速度 约 3 次/秒  
校准功能 短路清零  
测试端配置 四端测量  
显示方式 直读，Δ%，ΔABS 
显示器 五位LCD显示  
测量显示范围  
电压 2— 220mV  
电阻率 0.01Ω·cm — 100kΩ·cm  
方阻 0.1Ω/□ — 1MΩ/□  
电阻 0.1 Ω — 200kΩ  
Δ% -999.9% — 999.99%  
分选  
分选 HI PASS LOW  
一般技术指标  
工作环境 温度 0℃ - 40℃  
湿度 ≤75% R.H.  
电源要求 电源适配器 输出12Vdc 
内部电池 GP17R8H可充电电池，9Vdc 
工作电流 ≤ 32mA  
体积(mm)95(W)×200(H)×40(D)  
 TH2661型手持式四探针测试仪重量 约0.4kg 
随机附件1 TH2661 上位机软件光盘  
随机附件2 TH26611 四探针测试探头  
随机附件3 TH26028 交流电源适配器  
随机附件4 GP17R8H 可充电电池