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方块电阻分析仪 电阻率四探针测试仪
一、 结构特征
二、概述
TCWSP-51型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率,扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻(简称方阻),换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。
本测试仪可赠设电池供电,适合手持式变动场合操作!
仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入;具有零位、满度自校功能;自动转换量程;测试探头采用高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长;测试结果由数字表头直接显示。
方块电阻分析仪 电阻率四探针测试仪三、基本技术参数
1. 测量范围、分辨率
电 阻: 1.0×10-2 ~ 2000 Ω, 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×10 Ω
电 阻 率: 1.0×10-3~ 2000 Ω-cm 分辨率0.1×10-2 ~ 0.1 Ω-cm
方块电阻: 1.0×10-3 ~ 2000Ω/□ 分辨率1.0×10-1 ~ 0.1×10 Ω/□
2. 可测半导体材料尺寸(手持式)
直 径: 测试台直接测试方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
长(或高)度: 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程划分及误差等级
量程2.000200.020.002.000200.0
kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□
基本误差±1%FSB±2LSB±1.5%FSB
±4LSB
4) 适配器工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,或电池供电
5) 外形尺寸:W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
净 重:≤0.5kg
双电测四探针测试仪 型号:KDB-3
KDB-3双组合测试仪是根据标准SEMI MF1529设计,双组合测试方法使用四探针的方式不同于其他ASTM测量半导体电阻率或薄层电阻的方法。在本测试方法中,在测试样品的每个测量位置上,以两种不同的方式(配置)将探针连接到提供电流和测量电压的电路中。四探针的这种使用法通常被称为“双配置”或“配置切换”测量。单组合四探针相比,用较小间距的探针头就可以进行高精度的测量,从而可获得更高的晶片薄层电阻变化的空间分辨率。
仪器特点如下:
1、配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更精确。
数字电压表量程:0—199.99mV 灵敏度:10μV 输入阻抗:1000ΜΩ
基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)
2、可测电阻率范围:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可测方块电阻范围:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3探针间的电压(即电阻率)值;同样,当四探针头1、3探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、3探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、4探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、流经硅片的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度<3%。
电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、仪器采用触点电阻更低(<5mΩ)、使用寿命更长的转换开头及继电器(>10万次),在缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数,提高了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、可选配软件进行数据采集,可进行双组合或单组合测量,实现自动切换电压档位、读取相应电压值,根据不同方法计算电阻率或方块电阻值;软件可对测量数据进行分析,如平均值,zui大值、zui小值、zui大百分变化率、平均百分变化率、径向不均匀度等内容。
7、可配KDDJ-3电动测试架,自动上下运行,使测量更方便快捷。
8、四探针头采用上良好的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高
双电测数字式四探针测试仪型号: ST2263
概述
ST2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,大大提高精确度,特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
ST2263型双电测数字式四探针测试仪成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。 北京九游会品牌创业 专业铸造品质
ST2263型双电测数字式四探针测试仪主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成,USB通讯接口。仪器主机所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘和数码开关输入;具有零位、满度自校功能;测试功能可自动/手动方式;仪器操作可由配套软件在PC机上操作完成,也可脱PC机由四探针仪器面板上独立操作完成。测试结果数据由主机数码管直接显示,也可连机由软件界面同步显示、分析、保存和打印!
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探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。
测试台选配:一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。 北京九游会品牌创业 专业铸造品质
详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》点击进入
ST2263型双电测数字式四探针测试仪具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。
仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试,特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
三、基本技术参数 北京九游会品牌创业 专业铸造品质
3.1 测量范围 北京九游会品牌创业 专业铸造品质
电阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
方 阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
电 阻:1×10-5~2×105 Ω ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)
直 径:SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限
SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限.
长(高)度:测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可
3.3. 4-1/2 位数字电压表:
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)误差:±0.1%读数±2 字
3.4 数控恒流源
(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A
(2)误差:±0.1%读数±2 字
3.5 四探针探头(选配其一或加配全部)
(1)碳化钨探针:Φ0.5mm,直线探针间距1.0mm,探针压力: 0~2kg 可调
(2)薄膜方阻探针:Φ0.7mm,直线或方形探针间距2.0mm,探针压力: 0~0.6kg 可调
3.6 电源 北京九游会品牌创业 专业铸造品质
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.7 外形尺寸:
主机 220mm(长)×245 mm(宽)×100mm(高)
方块电阻 电阻率四探针测试仪
产品名称:溶解氧分析仪 便携式溶解氧检测仪 产品型号:JPB-607 |
溶解氧分析仪 便携式溶解氧检测仪 型号:JPB-607
仪器特点:
带有自动温度补偿
3 1/2位 液晶显示
响应时间快
技术指标:
1、 测量范围:溶解氧0-20mg/L,温度0-40℃
2、 精确度:溶解氧±0.3 mg/L(校准温度与测量温度相同)
±0.5 mg/L(校准温度与测量温度相差±10℃时)
温度:±1℃
3、 残余电流:溶解氧不大于0.15 mg/L(±1个字)
4、 响应时间:不大于30秒(20℃时90%响应)
5、 仪器的稳定性:±0.2 mg/L±1个字/1h
6、 自动温度补偿范围:0-40℃(自动)
7、 重量:0.3KG
8、 外形尺寸:165*72*35mm
9、 使用条件: 环境温度 0-40℃ 相对湿度 不大于90%
被测样品温度 0-40℃ 供电电源 9F22型9伏电池一节
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