射频磁控溅射镀膜装置
主要用途：本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜；如各种硬质膜、金属膜；也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射，亦可以实现反应溅射。

射频磁控溅射镀膜装置 

主要用途：本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜；如各种硬质膜、金属膜；也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射，亦可以实现反应溅射。

射频磁控溅射镀膜装置 

主要特点：结构简捷、操作简便，真空度维护高，安全可靠。

镀膜机应安装在干净无尘埃、无腐蚀性气体的室内，并具备清洁水源、及220V的稳定电压等条件的地方。

1、地面的基本水平度要经过调整，不得高低不平；

2、环境温度：10℃～30℃；

3、相对湿度：不大于75%；

4、耗水量（进水温度≤25℃，2.5Kg≥水压≥1.5Kg）：约0.2T/h；

5、水质要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8，电导率：200us/cm,沉积率：<200mg/L。

6、电压： 220V，50H_Z，

电压波动范围： 198～231V；

频率波动范围：49～51Hz;

7、水压：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、充入气体纯度99.9%或以上;

9、镀膜用耗材纯度99.9%或以上。

设备规格参数

1.1、溅射处理室：

       1、钟罩：内径225mm×高度260mm；

       2、试样台：直径80mm（）；

       3、试样旋转：静止；

       4、挡板：手动；

       5、衬底加热器：不锈钢加热器（DC24V）；

       6、衬底温度范围：室温～200℃；

       7、衬底可调距离：20mm～60mm；

       8、溅射室限真空：0.5Pa

1.2、真空系统：

       1、抽气系统：由机械泵组成的一级真空系统；抽气速率：4升/S

       2、真空检测：电阻真空计、电阻规；

       3、常用真空度：1～20Pa

       4、操作：手动

1.3、溅射电源：

1、射频电源：频率13.560MHZ,功率：500W，用表指示；

2、阻抗匹配器范围：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 

3、供电：AC 220V；

4、冷却方式：风冷；

  1.4、 磁控靶：

1、靶材直径：Ф50mm、 一个永磁靶；

2、靶材厚度：3～6mm；

1.5、进气系统：2路转子流量计进气，

1.6、电源要求：AC 220V  50Hz  10A

1.7、气体要求：氩气--纯度99.9%（样品有特殊要求时使用高纯）

1.8、冷却要求：靶体水冷，溅射电源风冷

1.9、体积重量：体积：L550mm×W680mm×H1480mm；约120kg

产品名称：粗糙度仪 便携式表面粗糙度仪  产品型号： RL100

粗糙度仪/便携式表面粗糙度仪 型号：RL100

RL100是我公司推出的新一代粗糙度仪，也叫袖珍便携式表面粗糙度仪。它具有测量精度高、测量范围宽、操作简便、便于携带、工作稳定等特点，可以广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测，该粗糙度仪是传感器主机一体化的袖珍式粗糙度仪，具有手持式特点，更适宜在生产现场使用。外形采用拉铝模具设计，坚固耐用，抗电磁干扰能力显著，符合当今设计新趋势。 
优点: 
用优化的电路设计及传感器结构设计,将电箱、驱动器及显示部分合为一体，使其达到高度集成化；任意选择Ra、Rz、Rq、Rt测量参数；不仅可以测量外圆、平面、锥面，还可测长宽大于80×30mm的沟槽。 

功能特点： 
采用高速DSP处理器进行数据处理和计算，测量和运算速度大提高。显示液晶采用流行的OLED显示屏，高亮度，无视角，宽温度，适合各种场合使用。 
采用锂离子充电电池，可长时间工作，无记忆效应，可边充电边工作，充电时间短，电池寿命长。 
使用通用的USB接口进行充电和通讯。采用的充电器或计算机的USB口进行充电，方便快捷。 
点阵液晶显示，界面提示信息丰富。 
实时监测锂电电池电量并显示，及时提醒用户进行充电并具有充电进度提示。 
自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间长，适合各种现场使用。 
传感器测头具有保护门，有效的保护了传感器测头，保证了测量的精度。 
  
工作原理： 
  当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时，其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移，再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化，将该电信号进行放大，滤波，经A/D转换为数字信号，再经DSP处理，计算出Ra、Rz值并显示。 
技术参数： 
测量参数（μm ）：Ra、Rz、Rq、Rt 
行程长度（mm）：6 
取样长度（mm）：0.25 ，0.80 ，2.50 
评定长度（mm）：1.25 ，4.0 ， 
测量范围（μm ）：  
                Ra：    0.05 ~ 10.0 
                Rz：     0.1 ~ 50 
示值误差：±15% 
示值变动性： ＜12% 
传感器触针针尖圆弧半径及角度： 
                针尖圆弧半径：10 μm±1 μm  
传感器触针静测力及其变化率： 
                触针静测力：    ≤ 0.016N 
                测力变化率：    ≤ 800N/m 
传感器导头压力： ≤ 0.5N 
电池：3.7V锂离子电池 
外形尺寸：106 mm×70 mm×24 mm 
重量：200g 
工作环境条件: 
                温    度：  -20℃～40℃ 
                相对湿度：   <  90% 
                周围无振动、无腐蚀性介质 
  
日常维护与保养： 
避免碰撞、剧烈震动、重尘、潮湿、油污、强磁场等情况； 
每次测量完毕，要及时关掉电源，以保持电池能量，并应及时对电池进行充电； 
传感器是仪器的精密部件，切记精心维护。每次使用完毕，要将仪器的保护盖轻轻盖好。避免对传感器造成剧烈的振动；随机标准样板应精心保护，以免划伤后造成校准仪器失准